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工业用特殊照明光刻用紫外线灯管

超高压UV灯(工业用特殊照明・光刻用紫外线灯管)

【365nm/405nm/436nm】
在与设备商之共同开发体制的背景之下、迎合设备制造厂各种需求、开发出获得好评且值得信赖的曝光制程用UV灯。
100w~35kw等级、产品系列齐全,适合提高产能、并改善良品率等的光源提案。
此外、顾客新设备的开发方面,我们亦配合开发适用的灯具。

  • 特征
  • 主要用途
  • 产品目录下载
  • 适合曝光制程的紫外线波长

    在紫外线波长中,USHIO的超高压UV灯仍可有效运用3线(436nm・405nm・365nm)波长,
    是长效型、且具有稳定放射照度的高亮度光源。
  • 发挥光学系性能的点状光源

    弧形大小极接近点状光源,易于集中与扩散光学系统上的光,因此可以得到均匀的照度分布。
  • 配合半导体、液晶・彩色滤光片・PDP以及印刷基板用线路成形等各种用途的灯输出

    因应回路与类型烧付照度需求的提高、
    小型(100w级)~超大型(35kw级)为止、适用各尺寸的灯具。
  • 发挥现有设备性能的高照度

    因应现有设备Throughput提高的需求、即使仅使用高照度灯、亦可望确实提高产能。
    ※部分设备商产品则必须实施设备改造。
  • 对应需求波长的灯具开发

    配合顾客新设备的开发,开发出合适的灯具。详情请洽询。

紫外线寿命特性

主要数据资料

分光分布(超高压UV灯)

分光分布(Deep UV灯)

・半导体回路形成用光源
・液晶回路形成用光源
・彩色滤光片回路形成用光源
・电浆显示器回路形成用光源
・印刷电路板回路形成用光源
・MEMS回路形成用光源
・检查用光源
・其他新的曝光用途等

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  • 华北: 13917572436(高李)
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  • 内陆: 13917572436(高李)
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