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  适合曝光制程的紫外线波长

  在紫外线波长中，USHIO的超高压UV灯仍可有效运用3线（436nm・405nm・365nm)波长,
  是长效型、且具有稳定放射照度的高亮度光源。

• 发挥光学系性能的点状光源

  弧形大小极接近点状光源，易于集中与扩散光学系统上的光，因此可以得到均匀的照度分布。

• 配合半导体、液晶・彩色滤光片・PDP以及印刷基板用线路成形等各种用途的灯输出

  因应回路与类型烧付照度需求的提高、
  小型（100w级）～超大型（35kw级）为止、适用各尺寸的灯具。

• 发挥现有设备性能的高照度

  因应现有设备Throughput提高的需求、即使仅使用高照度灯、亦可望确实提高产能。
  ※部分设备商产品则必须实施设备改造。

• 对应需求波长的灯具开发

  配合顾客新设备的开发，开发出合适的灯具。详情请洽询。

紫外线寿命特性

主要数据资料

分光分布（超高压UV灯）

分光分布（Deep UV灯）

・半导体回路形成用光源
・液晶回路形成用光源
・彩色滤光片回路形成用光源
・电浆显示器回路形成用光源
・印刷电路板回路形成用光源
・MEMS回路形成用光源
・检查用光源
・其他新的曝光用途等

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