【365nm/405nm/436nm】
在与设备商之共同开发体制的背景之下、迎合设备制造厂各种需求、开发出获得好评且值得信赖的曝光制程用水银灯。
100w~35kw等级、产品系列齐全,适合提高产能、并改善良品率等的光源提案。
此外、顾客新设备的开发方面,我们亦配合开发适用的灯具。
适合曝光制程的紫外线波长
在紫外线波长中,USHIO的超高压水银灯仍可有效运用3线(436nm・405nm・365nm)波长,发挥光学系性能的点状光源
弧形大小极接近点状光源,易于集中与扩散光学系统上的光,因此可以得到均匀的照度分布。配合半导体、液晶・彩色滤光片・PDP以及印刷基板用线路成形等各种用途的灯输出
因应回路与类型烧付照度需求的提高、发挥现有设备性能的高照度
因应现有设备Throughput提高的需求、即使仅使用高照度灯、亦可望确实提高产能。对应需求波长的灯具开发
配合顾客新设备的开发,开发出合适的灯具。详情请洽询。
分光分布(超高压水银灯)
分光分布(Deep 水银灯)
・半导体回路形成用光源
・液晶回路形成用光源
・彩色滤光片回路形成用光源
・电浆显示器回路形成用光源
・印刷电路板回路形成用光源
・MEMS回路形成用光源
・检查用光源
・其他新的曝光用途等
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