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液晶面板・光刻设备光刻相关设备

紫外线光阻剂硬化/CHARGE ERASE装置「UNIHARD」(液晶面板・光刻设备)

紫外线照射装置,在LSI制造生产联机使用的紫外线阻剂固化、及电荷消除装置。 配备超高压UV灯与EXCIMER灯,应用在提升乾蚀刻时的耐电浆性、离子注入时的阻剂脱气与烧制、电荷消除、疲乏消除、及 Low-k Cure等各种用途。

  • 特征
  • 主要用途
  • 高照度、均一度照射

    初期照度是650mw/cm2以上(220~320nm)、且照度均匀度保证在±10%。


  • 采用依据SEMI规定之装载接口的EFEM(φ12寸装置)

    φ12寸用装置、采用装载接口(依据SEMI) 的EFEM、
    以及搬运系统 采用无尘快速的2Finger搬运机器人、以达到高Throughput。


  • 采用WindowsNT PC的高操作性与以GEM300为准(φ12寸装置)

    φ12寸用装置采用Windows NT PC,达到极佳的操作性。亦符合GEM300规定。


  • 灯管装置更换容易

    灯管更换时无须调整,并降低装置的停机时间。


  • 配备照度一定方式与积累计算曝光方式(φ12寸装置:选购配备)

    使用照度一定方式、并积累计算曝光方式、达到制程的稳定化与一致化。


  • 丰富的产品系列

    对应φ6寸用装置(可与φ5寸以下共用)、φ8寸用装置( 可与φ6寸以下共用)、
    以及φ12寸专用装置等所有工具匣。此外,亦备有准分子(Excimer)灯的φ8寸用装置。


2Finger搬运机器人




灯光装置



测试机介绍

可使用产品进行各种测试。详细内容请洽询。
※可能无法满足部份要求内容、敬请见谅。


・提高乾蚀时的耐电浆性
・离子注入时的阻剂脱气及烧入
・电荷消除与消除疲乏
・Low-k Cure
・薄膜磁头之层间绝缘膜形成
・化合物半导体的Lift-Off工程
・表面改质
・CCD与CMOS影像仪的去色(bleaching)等

产品咨询

  • 华北: 18321128630(谭博)
  • 华东: 18321128630(谭博)
  • 华南: 13823558057(李荣恩)

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