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光刻设备・液晶面板曝光设备

【接触式/接近式曝光设备】LED贴片量产用曝光设备(光刻设备)

LED贴片量产用曝光设备。 LED贴片量产专用的,高生产性设备。

  • 特征
  • 主要用途

规格:


Wafer Size φ2,4Inch
Resolution 2μmL/S
Overlay ±2μm
Throughput 190WPH

・LED贴片量产

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