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光刻设备・液晶面板曝光设备

【接触式/接近式曝光设备】曝光MA(光刻设备)

接触式/接近式曝光装置。 牛尾贸易是R&D用装置专门公司Mikasa在中国唯一一家的总代理店。

  • 特征
  • 主要用途

产品特征:


●机械手平台可移动±50 mm,便于对齐

●在可移动的部件上设置传感器,防止误操作

●更轻量化的设计  ※与本公司的MA-10比较

●防止面罩掉落的抽板※根据面罩玻璃规格制造

●适配不规则尺寸的基板*根据基板样式真空吸附





产品规格:

*式样、规格可能会有变化,恕不另行通知;

*更多信息欢迎咨询我们。

最大基板尺寸
φ4英寸
最大基板厚度
2毫米
最大掩模尺寸
5 x 5英寸
照度
>8mW/cm2(At405 Nm)




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・各种曝光研究(硅胶、玻璃、化合物)

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