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液晶面板・光刻设备液晶面板制造用设备

UV固化照射装置

适用于TFT-LCD液晶面板的贴合工艺,将液晶面板贴合所用的Seal材料,通过UV紫外线的照射在较短时间内进行固化,从而起到了提高生产效率,降低生产成本的效果。

  • 特征
  • 主要用途
・高均一性照射
由于基板问题变化而产生的变色减少
省略了周边四角的曝光

・Tack 时间短
利用光学Filter对光的控制技术
受损情况小
低温处理

・Mask对位机能
能够和Pattern进行精度较高的对位

有效的曝光技术进行展开


ODF设备(UV Curing)的构造

・系统构成
设备本体
电源,控制面板
循环冷却Unit(Lamp冷却用)
Mask Work冷却用冷气机

・照射部
・Stage部


・适用于TFT-LCD液晶面板的贴合工艺
・将液晶面板贴合所用的Seal材料,通过UV紫外线的照射在较短时间内进行固化

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  • 华北地区: 13811185764(金)
  • 华东地区: 15026450271(崔)

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