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液晶面板・光刻设备曝光设备

【投影曝光一体式曝光设备】UX-4系列(液晶面板・光刻设备)

牛尾长年开发经验,集光源・光学技术,采用独自的大面积投影镜头技术研发的背投式对准光刻设备。 到8英寸为止的晶片可在非接触下模式下也可以一起对准光刻曝光。 适用于深度焦点非平面晶片,实现接近式曝光为数不多的高生产性、高成品率。

  • 特征
  • 主要用途
  • 搭载超高压UV灯

  • 值得称赞的高度均一的照射光学系统

  • 为数不多的大面积投影镜头


          



・大面积投影
・对准光刻曝光一体机

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