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液晶面板・光刻设备曝光设备

【分割投影曝光设备】UFX系列(液晶面板・光刻设备)

累计销售800台以上,是牛尾接近式曝光产品中的一款。 通过采用高输出灯管,优秀的光学技术投影镜头,来实现高效高解析度的曝光。

  • 特征
  • 搭载超高压UV灯

  • 值得称赞的高度均一的照射光学系统

  • 为数不多的大面积投影镜头

  • 高端市场培育出的RtoR运输技术


        


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