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液晶面板・光刻设备曝光设备

【接触式/接近式曝光装置】LED贴片量产用曝光设备

LED贴片量产用曝光设备。 LED贴片量产专用的,高生产性设备。

  • 特征
  • 主要用途

规格:


Wafer Size φ2,4Inch
Resolution 2μmL/S
Overlay ±2μm
Throughput 190WPH

・LED贴片量产

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