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液晶面板・光刻设备

液晶面板制造用设备

UV固化照射装置

适用于TFT-LCD液晶面板的贴合工艺,将液晶面板贴合所用的Seal材料,通过UV紫外线的照射在较短时间内进行固化,从而起到了提高生产效率,降低生产成本的效果。

主要用途

  • ・适用于TFT-LCD液晶面板的贴合工艺
  • ・将液晶面板贴合所用的Seal材料,通过UV紫外线的照射在较短时间内进行固化

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液晶面板・光刻设备

光配向

主要用途

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液晶面板・光刻设备

准分子(Excimer)灯【126nm/146nm/172nm/222nm/308nm】

封入氙气的准分子(Excimer)灯,(诱电体屏障放电Excimer灯) 可有效放射波长180nm以下的VUV,(真空紫外线) 达到快速的化学反应与反应速度。

主要用途

  • ・HDD光碟洗净
  • ・阻剂剥离
  • ・阻剂残渣的剥离
  • ・塑料基板的洗净
  • ・金属表面的清洗与重组
  • ・Low-k Cure
  • ・PDP萤光体评估
  • ・分析评估前的洗净
  • ・气体分解
  • ・形成氧化膜
  • ・防止带电
  • ・乾燥
  • ・玻璃胶膜的贴合
  • ・纤维的改质
  • ・有机EL封装管的接合性提高
  • ・有机EL的工作函数増加

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